mobile background

반도체 소재

반도체 무기소재

반도체 소재

반도체 무기소재

SEMICONDUCTOR  PRECURSOR


Hafnium/Zirconium Ceramics

HBM용 고유전체 산화물 박막 형성을 위한 고순도 HfCl4  / ZrCl4합성

  Hafnium/Zirconium Ceramics


  • 반도체 제조에서 ALD 및 산화 반도체 형성에 필요한 정밀한 하프늄 공급을 가능하게 하며, 반도체 장치의 성능과 효율성을 향상.
  • 기존에 산화막으로 사용하던 SiO2 대신 높은 유전상수를 갖는 High-kmaterial (εr = 26)
  • 반도체 공정에 즉시 도입 가능한 초고순도 물질 (99.999%)

Application

I. Deposition process

ALD 원자층 증착법

CVD 화학 기상 증착법

II. High Bandwidth Memory

다수의 D램을 수직으로 연결해 기존 D램보다

데이터 처리 속도를 혁신적으로 끌어올림

III. High-K Metal Gate

HKMG 공정

Capacitor, Transistor

SEMICONDUCTOR  PRECURSOR

Hafnium/Zirconium Ceramics

HBM용 고유전체 산화물 박막 형성을 위한 고순도 HfCl4  / ZrCl4합성

Hafnium/Zirconium Ceramics

  • 반도체 제조에서 ALD 및 산화 반도체 형성에 필요한 정밀한 하프늄 공급을 가능하게 하며, 반도체 장치의 성능과 효율성을 향상.
  • 기존에 산화막으로 사용하던 SiO2 대신 높은 유전상수를 갖는 High-kmaterial (εr = 26)
  • 반도체 공정에 즉시 도입 가능한 초고순도 물질 (99.999%)

Application

I. Deposition process

ALD 원자층 증착법

CVD 화학 기상 증착법

II. High Bandwidth Memory

다수의 D램을 수직으로 연결해 기존 D램보다

데이터 처리 속도를 혁신적으로 끌어올림

III. High-K Metal Gate

HKMG 공정

Capacitor, Transistor

 주   소광주광역시 북구 첨단벤처로 16번길 23, ㈜포스포 (우 61009)
 전   화062-973-9061
 팩   062-973-9062
 이메일force4@force4.co.kr


Copyright ⓒ 2025 포스포 All rights reserved.

   소광주광역시 북구 첨단벤처로 16번길 23, ㈜포스포 (우 61009)
   화062-973-9061
   062-973-9062
이메일force4@force4.co.kr


Copyright ⓒ 2025 포스포 All rights reserved.