Organic Semiconductor Precursor

ALD/CVD Precursor

전구체는 금속을 중심으로 응용분야에 따라 다양한 유기 리간드가 결합한 구조로 전자소자 제조 공정 중 ALD/CVD 증착 공정에 사용되는 소재.

리간드란 수소, 탄소, 질소, 산소 등이 서로 화학적 결합을 이루고 있는 유기화합물로 금속의 물리적 특성을 나타내는 역할